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Fenêtre en saphir résistant aux rayures Mohs 9 Hublot pour équipement de semi-conducteurs
Spécification du produit
Lieu d'origine:
Guangdong, Chine
Nom de la marque:
ECER Optics
Attestation:
ISO 9001:2015
Numéro de modèle:
SW-SEM-DUR
Quantité minimum de commande:
10 pièces
Prix:
USD 8-50 / Piece
Conditions de paiement:
T/T, PayPal, Western Union
Capacité d'approvisionnement:
30 000 pièces par mois
Détails du produit
Mettre en évidence:
Fenêtre saphir résistante aux rayures
,Fenêtre pour équipement de semi-conducteurs
,Optique de dureté Mohs 9
Product Name:
Fenêtre saphir résistante aux rayures
Application:
Traitement des plaquettes de semi-conducteurs
Hardness:
Mohs 9
Material:
Saphir monocristallin Al2O3
Diameter:
Personnalisé 10mm - 200mm
Chemical Resistance:
Résistant aux acides, aux bases et au plasma
Surface Quality:
60-40 Excavation à l'aide d'un grattoir
Flatness:
Lambda/4
Description du produit
Résistant aux rayures Saphir Fenêtre Mohs 9 Équipement de semi-conducteurs Viewport
Cette fenêtre en saphir résistante aux rayures est conçue pour les points de vue des équipements de semi-conducteurs, où les chambres de processus exposent les fenêtres au plasma, à l'abrasion des particules et aux produits chimiques de nettoyage agressifs.La fenêtre est fabriquée à partir de saphir monocristallin d'une dureté de Mohs de 9, qui lui permet de maintenir une surface optique propre beaucoup plus longtemps que les vitrines en verre ou en quartz.
Pour les outils de traitement des plaquettes qui fonctionnent en continu, la fenêtre en saphir résistante aux rayures réduit les temps d'arrêt de maintenance et maintient l'imagerie d'inspection constante sur toute la durée de vie de la chambre.Les environnements de semi-conducteurs exigent plus que la dureté, ce qui explique pourquoi cette fenêtre en saphir est également spécifiée pour la résistance chimique aux acides, aux bases et aux produits chimiques plasmatiques, ainsi que pour la stabilité thermique dans les variations de température des cycles de processus.
Chaque fenêtre est polie jusqu'à une qualité de surface de 60 à 40 grattes avec une planéité de lambda supérieure à 4, et les profils de bord sont broyés et bisseaux pour éviter les concentrations de contraintes dans la bride de montage.Des diamètres personnalisés de 10 mm à 200 mm et des épaisseurs adaptées au vide ou à la pression atmosphérique sont disponibles, et chaque envoi comprend des certificats de matériaux et des dossiers d'inspection dimensionnelle pour la qualification des équipements.
Spécifications techniques
| Nom du produit | Fenêtre en saphir résistant aux rayures |
|---|---|
| Matériel | Saphir monocristallin Al2O3 |
| Dureté | Pour les produits chimiques |
| Diamètre | 10 mm - 200 mm personnalisés |
| Épaisseur | 1.0 mm - 8.0 mm personnalisé |
| Qualité de la surface | 60-40 Excavation à l'aide d'un grattoir |
| Plateur | LAMBDA/4 @ 632,8 nm |
| Résistance chimique | Résistant aux acides, aux bases et au plasma |
| Application du projet | Traitement des plaquettes par semi-conducteurs |
| Certificat | Conforme à la réglementation RoHS, ISO 9001:2015 |
Principaux avantages
- Dureté Mohs 9 résiste aux rayures par particules et au plasma
- L'inertie chimique survit aux produits chimiques agressifs de nettoyage de la chambre
- Manches de stabilité thermique cycle de température de processus sans fracture
- Les bords de sol bisellés réduisent la concentration de contraintes dans la bride de montage
- Une longue durée de vie réduit la fréquence de remplacement et le temps d'arrêt du port de vue
- Les certificats de matériel permettent de qualifier les équipements semi-conducteurs
- Les tailles personnalisées correspondent aux affichages de processus sous vide et atmosphériques
- Clarté optique constante pour l'inspection des plaquettes par la fenêtre
La fenêtre en saphir résistant aux rayures est conçue autour des conditions réelles de fonctionnement de la fabrication de semi-conducteurs: ouverture répétée de la chambre, nettoyage au plasma et flux de particules abrasives.Les données de terrain des programmes de service d'équipement montrent que les fenêtres de vision en saphir durent généralement plusieurs fois plus longtemps que le quartz dans les outils de gravure et de dépôt, ce qui réduit directement le coût de possession pour les exploitants de fab.
La fenêtre est également adaptée aux industries adjacentes qui partagent le même profil environnemental difficile, y compris le traitement des écrans plats, la fabrication de cellules solaires et les systèmes de revêtement sous vide.Les ingénieurs en conception reçoivent des conseils de montage, y compris les tolérances de brides recommandées et les matériaux d'étanchéité, de sorte que la fenêtre en saphir résistant aux rayures s'intègre dans les conceptions de fenêtres existantes sans retravail.
Questions et réponses sur les produits
Q: Pourquoi les fenêtres de vue des semi-conducteurs ont-elles besoin de saphir au lieu de quartz?
Les chambres de traitement génèrent du plasma, des particules et des produits chimiques réactifs qui gravent et rayent rapidement les points de vue en quartz, brouillant le chemin optique.Le saphir à dureté Mohs 9 résiste à ces dommages pendant des cycles beaucoup plus longs, et son inerté chimique empêche la dégradation par les agents de nettoyage. Le résultat est moins de changements de champ de vision et des conditions d'inspection plus stables.
Q: Quelles pressions peut supporter la fenêtre?
Pour les fenêtres de 25 mm à 100 mm typiques, les épaisseurs de 2 mm à 8 mm supportent le vide jusqu'à plusieurs bar de pression différentielle.Nous fournissons des calculs d'épaisseur recommandés pour vos conditions de chambre spécifiques.
Q: La fenêtre peut-elle être recouverte pour empêcher la réflexion dans la plage visible?
Bien que de nombreux points de vue de semi-conducteurs utilisent du saphir non revêtu pour une robustesse maximale, nous pouvons appliquer un revêtement AR durable pour des longueurs d'onde d'inspection visibles lorsque la transmission est plus élevée.Le revêtement est validé pour l'exposition au plasma et aux produits chimiques avant la libération..
Q: Quelle documentation est fournie pour la qualification de l'équipement?
Chaque expédition comprend des certificats de matières saphir, des rapports d'inspection dimensionnelle, des dossiers de qualité de surface et des déclarations RoHS.Pour les programmes qualifiés, nous pouvons également fournir des données de test de résistance chimique au niveau du lot et des résultats du cycle thermique.
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